ハイスループットアッシング・エッチング装置MAS-8220AT概要

高生産性と省スペースを提供する低CoO値のハイスループットアッシング・エッチング装置 MAS-8220AT

基本情報

MAS-8220AT
装置名
MAS-8220AT

主な特長

高生産性と省スペースを両立した最新型ハイスループットアッシング・エッチング装置

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