精密光学コンポーネント

小型デジタルガルバノスキャナー キヤノンロータリエンコーダを搭載したフルデジタル制御のガルバノスキャナー GC-201/101+GM-1010/1015

製品ラインアップ

  • レーザーロータリーエンコーダ高精度計測と制御の可能性を拡げる超小型・高精度回転角度センサー
  • マイクロリニアエンコーダ独自の光学技術と半導体微細加工技術を駆使した、超小型・高精度リニアエンコーダ
  • 分割ボードエンコーダのさらなる高分解能化を実現するインターポレータ
  • 超小型光学式エンコーダ超小型エンコーダヘッドを使用したカスタムデザイン基板を提供
  • デジタルガルバノスキャナー高精度エンコーダを使用し、ガルバノミラーの制御に最適化した高速レーザースキャナー
  • マイクロレーザーインターフェロメータ最高分解能0.08ナノメートルの超小型・高精度 非接触レーザー変位計
  • レーザードップラ速度計小型・高精度・ローコストな非接触レーザードップラ方式速度計
  • エアベアリング・エアスピンドルサブミクロンを超える回転精度、高剛性、高耐久性など優れた特性を持つエアベアリング
  • ナノインプリント用モールド最大8インチ石英ウエハへ微細パターンを製作可能

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