精密光学コンポーネント

製品ラインアップ

• 高精度計測と制御の可能性を拡げる超小型・高精度回転角度センサー
• 独自の光学技術と半導体微細加工技術を駆使した、超小型・高精度リニアエンコーダ
• エンコーダのさらなる高分解能化を実現するインターポレータ

• 超小型エンコーダヘッドを使用したカスタムデザイン基板を提供
• 高精度エンコーダを使用し、ガルバノミラーの制御に最適化した高速レーザースキャナー
• 最高分解能0.08ナノメートルの超小型・高精度　非接触レーザー変位計

• 小型・高精度・ローコストな非接触レーザードップラ方式速度計
• 小型・高精度なHDDテスター向けスピンスタンド。HGA、HSAにも対応
• サブミクロンを超える回転精度、高剛性、高耐久性など優れた特性を持つエアベアリング

• 最大8インチウェハーへ微細パターンを製作可能