精密光学コンポーネントエアベアリング共通特長

サブミクロンを超える回転精度、高剛牲、高耐久性などすぐれた特牲を持つエアベアリング

おもな特長

1. 高い回転精度をラジアル、アキシャル共に有し、またその回転精度は非接触軸受のため半永久的です。

2. かじり付きを大幅に減少させます。

3. 高い剛性と高負荷容量を実現しています。

4. 低消費流量を実現しています。

5. クリーンな環境で使用ができます。

6. 豊富なラインアップを揃えお客さまのニーズに応えます。

軸受けの種類と特性

  転がり 油静圧 エアベアリング
回転精度 普通
μm
優れる
sub μm
優れる
sub μm
高速回転 普通 劣る 優れる
発熱少
振動/静粛 劣る/普通 優れる 優れる
非接触
負荷容量 優れる 普通 劣る
剛性 優れる 普通 劣る/普通
減衰性 劣る 優れる 普通
寿命 普通/劣る
摩耗
普通/劣る
油シール構造
優れる
非接触
クリーン/環境負荷 普通 劣る 優れる
排気は空気のみ
コスト 優れる 普通 普通
付帯設備 優れる 劣る 普通
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