精密光学コンポーネントエアベアリング検査方法

サブミクロンを超える回転精度、高剛牲、高耐久性などすぐれた特牲を持つエアベアリング

剛性検査

ロータをシリンダーで加圧して、反対側での変位を電気マイクロメータにて測定する。

ラジアル属性
アキシャル属性

回転精度測定

ガラスの球ゲージ(精度0.02μm)を使用してリサージュを測定する。

  • 精度は球ゲージを含んだ精度となる
ラジアル精度
アキシャル精度

端面振れ測定

スラストプレートの中心により外周へ一定距離離れた位置での上下変位を電気マイクロメータで測定する。標準端面振れは1μm以下(オプションにより0.3μm以下可能)

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