エアベアリング・エアスピンドル|共通特長

特長

• 軸受けに多孔質絞りを採用し、エアギャップ5µmを実現しました。
• エアー消費量が少ないためコンプレッサーの小型化が可能となり、経済的です。

運動精度・再現性比較

エアベアリングの回転精度は0.05µm以下でできており、ボールベアリングと比較して極めて高精度であることがわかります。さらに高精度を求めるときに重要なのは、その再現性が0.01µm以下で、それが半永久的に維持できることです。
キヤノンエアベアリングは軸受けに多孔質絞りを用いており、通常の工場給気圧（490kpa）でも汎用的に使用するに充分な剛性が得られ、オリフィス絞りや自成絞りを用いた軸受けに比べて、単位面積当りの剛性が高く、消費流量が1桁近く少なく、また、他の絞り方式と比較して減衰能も高い特徴を持っています。

応用例

• 精密工作機械主軸
• 精密工作機械高精度回転テーブル
• 真円度測定器
• 半導体加工・検査装置
• ストレージ関連製造・検査装置
• 粘弾性測定装置