精密光学コンポーネントエアベアリング応用例

応用例

モータやエンコーダをビルトインして、高精度な位置決めテーブルや高速加工軸としてお客さまのご要望に基づいた設計製作をお引き受けします。

高精度回転位置決めテーブル

特長


拡大断面図
  • 測定に悪影響を及ぼす端面振れを1μm以下に抑制し、スムーズな回転をします。
  • 扁平モータ採用のコンパクト設計です。
  • 高分解能エンコーダを搭載し、高精度な回転位置決めが可能です。

ポリゴンスキャナー

特長

  • ポリゴンミラーを振れなく高速回転します。
  • コアレス型扁平モータ採用のコンパクト設計です。
スピンドル(参考仕様)
軸受け AB-100R
回転数 MAX 10,000rpm
モータの種類 DCコアレスモータ
ジッター精度 0.05%以下
エア供給圧力 490kpa
質量 12kg
ポリゴンミラー(参考仕様)
面数 12面
面精度 λ / 4
面倒れ 30arc-sec
面間直径 φ100mm
高さ 25mm
反射率 85%以上

精密搬送エアベアリング

特長

両端の軸受けにエアベアリングを使用することで高い回転精度を維持しながら高負荷容量を達成しています。

精密搬送エアベアリング(参考仕様)
軸受け AB-250R(2台)
シャフト質量 80kg
ラジアル剛性 836N(82kgf)
許容回転数 2,500rpm
ワーク振れ精度 1μm

詳細についてはお問い合せ願います。
商品改良による仕様、寸法などの一部を予告なしに変更することがあります。また仕様詳細は具体的な使用条件を確認させて頂き、最適なシステムをご提案します。

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