GHシリーズ|概要

高速・高精度位置決め用スキャンヘッド GHシリーズ

  • エンコーダモーターに取り付けられているミラーは製品構成に含まれておりません。

基本情報

  • 商品名:GHシリーズ

特長

  • GM-1000シリーズモータと同様に、位置再現性、温度特性(環境安定性)があり、fθレンズ用取り付けスペーサを交換することで、様々な焦点距離のレンズに対応可能です。

仕様

GH-310 GH-315
搭載モータ GM-1010 GM-1015
適合ビーム径 ø8~10mm ø10~14mm
スキャン角度(機械角) ±10°
位置再現性 5µrad
ポジショニング時間 10m/s
  • 環境温度一定、短時間

精密光学コンポーネント

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