デジタルガルバノスキャナーKP-1シリーズ概要

繰り返し位置再現性1µm(f=160)の高精度スキャナー KP-1シリーズ

基本情報

商品名
KP-1シリーズ

おもな特長

  • 大径ミラーの高精度位置決めおよびラスタースキャン用
  • 回折干渉方式エンコーダとデジタルサーボコントローラの採用により温度特性に優れ、高度な位置決め精度と整定速度の高速化を同時に達成。
  • 次世代プリント基板レーザ加工機や半導体リペア装置、並びにラピッドプロトタイピング装置など、高速・高精度が要求されるガルバノユニットに最適。

仕様

システム性能

  KP-1SM30 / S / GC-251 KP-1SM100 / GC-251
適合ビーム径 ø15~20mm ø20~30mm
スキャン角度(機械角) ±15°
エンコーダパルス数 170,655,744パルス/1回転
指令分解能 0.036µrad
位置再現性※1 1µrad
原点位置再現性※1 38µrad
整定時間(小ステップ移動時)※2 450µsec 580µsec

エンコーダモータ仕様

  KP-1SM30 / S KP-1SM100
モータ 単相4極コアレスDCブラシレスモータ
エンコーダ※3 光学式エンコーダー
エンコーダパルス数 170,655,744パルス/1回転
質量 950g 1,650g

ドライバー仕様

 GC-251
コントロール軸数2軸(1軸のみの制御も可能)
フィルターデジタル ノッチフィルター
デジタル ローパスフィルター
アナログ ノッチフィルター
重量500g
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