マイクロレーザーインターフェロメーター|概要
基本情報
- 商品名： DS-80
- 基本構成：
- センサー部（ヘッドAタイプまたはBタイプ）
- コネクタケーブル（2mまたは4m）
- 処理系部（PC込み）
特長
- 物体の振動／変位を0.08ナノメートルという超高分解能で測定
- 従来の静電容量式やレーザー三角測距式変位系に比べ、小型化、高速化、高分解能化を同時に達成
- 幅広いニーズに対応するため、ワーキングディスタンスが10mmのAタイプと2.5mmのBタイプを用意
アプリケーション応用例
- ピエゾ変位量測定
- 微動ステージの位置検出
- 振動計測
- その他微小変位測定
ピエゾ素子の変位・応答周波数測定
高精度ステージの微小変位測定
マイケルソン干渉法の原理図
基本仕様
| 測定方法 | レーザー光マイケルソン干渉方式 |
|---|---|
| 使用レーザー | 可視光半導体レーザー（波長650nm、マルチモード） |
| ワーキングディスタンス | 10mm（Aタイプ）、2.5mm（Bタイプ） |
| 測定範囲 | ±50µm |
| 最高分解能 | 0.08nm |
| リニアリティ | ±0.02％以内 |
| 応答周波数 | 最高500kHz（±0.05µm以下振幅時） |
| 対象物 | 光反射面（散乱面可） |
| センサー部出力信号 | A相・B相、およびその反転信号 |
| 動作環境 | 0～45℃ 80％RH以下（結露無きこと） |
| センサー部外形寸法 | 38mm（W）×51mm（D）×19mm（H）（A-Type） |
| センサー部質量 | 45g |
この商品に関するお問い合せ
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