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マイクロリニアエンコーダ|共通特長

特長

  • 光源にLEDを採用したことにより、半導体レーザーに比べ寿命が大幅にアップしました。
  • スケール方式のためレーザー波長を測定基準とする従来の干渉測長器と比べ、使用環境条件の変動に対して安定しています。

原理

マイクロリニアエンコーダの原理図 図のようにLEDから射出した光束をコリメータレンズにて平行光にし回折格子によって0次光、±1次光の3光束に分離しスケールに照射します。
照射した光束の内2光束(0次回折光、-次回折光)をエンコーダ用として用い、もう1つの光束(+1次回折光)は原点用として用います。
エンコーダの測定原理は原理図0次回折光と-1次回折光を、ヘッドに対面して配置されているスケールに照射させ、そこで生じた±1次回折光を4つに分割されたヘッド側の回折格子で合成し受光素子に入射させます。
ここでスケールで回折させた光束は、スケールが1ピッチ動くとそれぞれ±2πだけ位相がずれます。その結果受光素子においてスケールが1ピッチ動くと、2個の正弦波信号が得られ、さらに光束を合成する格子を4分割し互いに1/2ピッチずらして配置してあるため、位相が90度ずれた4つの信号が得られます。
ML-08タイプでは、スケールピッチが、1.6µm、ヘッドから0.8µm周期の信号が出力され、ML-16タイプでは、スケールピッチが3.2µm、ヘッドから1.6µm周期の信号が出力されます。
また、原点測定の原理は、光源より原点センサ側に回折された光束がスケール端に来ると受光素子に光束が入射せず、点線の光路を取ることにより受光素子からの出力が小さくなることで原点を検出しています。

応用例

  • 半導体後工程装置の制御
  • 各種搬送装置の位置・速度制御
  • 各種測定器の位置制御
  • 工作機械の位置・速度制御
  • 各種モータ・ステージの制御

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