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マイクロリニアエンコーダ|製品ラインアップ
光源にLEDを採用し、独自の反射回折光干渉方式による最適光学技術と半導体微細加工技術を駆使した超小型、高精度なリニアエンコーダです。
マイクロリニアエンコーダ
電気分割ハイブリッドICの採用により分解能0.01µm達成
電気分割ハイブリッドICの採用により分解能0.02µm達成
1000分割ボード採用により驚異の分割能0.8nmを達成
次世代アクチュエーター用リニアセンサー、分解能1.6nm
この商品に関するお問い合せ
キヤノンマーケティングジャパン株式会社 プロセス機器営業部 CB販売課
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