ML-08/1000GA|概要

1000分割ボード採用により驚異の分解能0.8nmを達成 ML-08/1000GA

基本情報

  • 商品名: ML-08/1000GA

特長

  • ディップスイッチによりアップ/ダウンパルス出力、またはA相B相矩形波出力の選択が可能
  • 1000~100分割まで、8段階の分割数セレクトが可能

仕様

分割数

1周期の長さ0.8µm
 分解能応答周波数
100分割8.0nm100kHz
125分割6.4nm100kHz
200分割4.0nm86kHz
250分割3.2nm68kHz
400分割2.0nm43kHz
500分割1.6nm34kHz
800分割1.0nm21kHz
1000分割0.8nm17kHz

電気的仕様(ボードからの出力信号)

A相、B相 ※1差動ラインドライバー出力
アップ/ダウン ※1差動ラインドライバー出力
Z相 ※2差動ラインドライバー出力
(A相、B相とは非同期)
Z相パルス幅100±20µsec
電源電圧DC+5V ±5%
  • ※1ヘッド左側にケーブルがある向きで取付けた場合ヘッドから見てスケールが左方向に移動する時A相が進む。
  • ※2ヘッド左側にケーブルがある向きで取付けた場合ヘッドから見てスケールの左端に1パルス出力。

環境条件

動作温度10℃~40℃
保存温度-10℃~50℃
湿度80%RH以下(結露無きこと)
振動10G , 500Hz以下(ヘッド)
3G , 200Hz以下(スケール)
衝撃60G , 11msec以下

スケール

格子ピッチ1.6µm(at 23℃)
有効長別直線精度
(注:台座ありの場合)
MS-08/10 mm:±0.08µm
(レーザー干渉測長器との比較測定において at 23℃)
膨張係数5.2×10-7/℃(石英)

精密光学コンポーネント

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