RS-5220U/GS|概要
基本情報
- 商品名： RS-5220U/GS
特長
- 高精度でありながら小型化を実現し、省スペース化に貢献。
- 高速ステージ搭載により、高いスループットを実現。
- ピエゾなしで1nmの高分解能を達成、250,000TPI に対応。
- HGA,HSAに対応。
- 1”～3.5”のディスクサイズに対応。実機およびシミュレーションのどちらにも対応。
仕様
ヘッドポジショニング
| θステージ | キヤノン ロータリーポジショナ |
|---|---|
| ストローク | ±30deg.（エンコーダZ相中心） |
| 最小分解能 | 0.0039arc-sec（16”/4096） 1.0nm at R=56mm |
| Xステージ | サーボモータ&リードスクリュー |
| ストローク | 100mm |
| 最小分解能 | 0.5µm |
| 位置再現性 | 5µm以下（Vacuum Lock） |
| 最大速度 | 200mm/sec |
ディスクスピンドル
| 軸受け方式 | 静圧エアベアリング |
|---|---|
| 回転数 | 600～22,000rpm |
| 回転ムラ | 0.001％以下 |
| 立ち上がり時間 | 5sec以下（0→10,000rpm） |
オプション
| 各種ヘッド対応 | ヘッドローダ&フィクスチャ ヘッドアンプボード |
|---|---|
| 各種ディスク対応 | シュラウド スタビライザ |
- ※上記仕様は参考例です。詳細につきましてはお問い合せ願います。
