ナノインプリント用モールド|概要

基本情報

• 商品名： ナノインプリント用モールド（型・スタンパ・テンプレート）

特長

• 最大8インチウエハへの大面積つなぎパターン
• hp：80nm（L&S）を、±10nm以下の繋ぎ合わせ精度で8インチ全面に再現良くパターンニング可能
• 太陽電池やLEDへの応用が期待されているナノインプリント技術に対応
• ナノインプリントに限らず、様々な光学素子にも対応
• 半導体プロセス^※1を使用し、量産性の優れた安価なモールドを製作可能
• 半導体プロセスを応用した石英への超微細加工（一部Si等の基板にも対応可）
• 御希望の側壁角度の制御が可能

• ※1キヤノン製 KrFスキャンニングステッパーを使用

カスタム対応

• L&Sやピラーなどの各種微細パターンをニーズに合わせた仕様で提供可能
• 8インチウエハ内に多数個製作し、一個あたりの価格を抑えることが可能

• 
  ホール形状
• 
  ピラー形状

• 
  多段形状
• 
  L&S（hp ： 80nm）においてDuty Ratioを調整した例

• 
  125×125mm 大面積
• 
  多数個取りイメージ^※2

• ※2取り個数に関してはご相談ください。