• 概要
  • 仕様

微細加工プロダクト|仕様

最大8インチ石英ウエハへ先端半導体プロセスを使用した微細パターンの提供

基本仕様

  • 標準品 No.1~8

  • 標準品外観
    製品No.1~7

  • 標準品外観
    製品No.8

標準品 基本仕様

製品No. 1 2 3 4
パターン形状 L&S Pillar
三方配列 正方配列
パターン寸法 hp:75nm hp:100nm P=250nm P=350nm
パターン深さ 150nm±15nm 250nm±25nm 350nm±35nm
パターンエリア □24mm
外形寸法 32mm×34mm
材質 合成石英
板厚 0.85mm±0.05mm
熱膨張率 1/K≦6.5×10-7 (15~300℃)
その他 目視検査にてゴミ・傷の確認(保証無し)
製品No. 5 6 7 8※1
パターン形状 moth-eye L&S
正方配列 三方配列
パターン寸法 P=160nm P=200nm P=250nm hp:75/ 100 / 150 / 200nm
パターン深さ 350nm±35nm 200nm±20nm
パターンエリア □24mm □4mm×4個
外形寸法 32mm×34mm □20mm
材質 合成石英
板厚 0.85mm±0.05mm
熱膨張率 1/K≦6.5×10-7 (15~300℃)
その他 目視検査にてゴミ・傷の確認(保証無し)
  • ※1 No.8についてはパターンが4種類入ったサンプルです。

カスタム品 仕様

  • 下記仕様に関しましてはお問い合わせ願います。
パターン形状 L&S、ホール、ピラー、多段形状、他
周辺部の凹凸の選択
ホール、ピラーの場合の配列選択 正方配列/三角配列
ホール、ピラーの場合のピッチ寸法
側壁角度
深さ
各寸法公差
パターン領域 最大ø200mm
外形寸法 最大ø200mm
基板厚 0.625mm / 0.85mm / 1.00mm (別途 0.5mm~1.0mm間で対応可能)
基板材質 合成石英。その他、Si基板等も対応可(ご相談ください)
その他 検査項目

精密光学コンポーネント

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