EUV露光計測装置LPR1016

EUV露光用フォトマスクの反射率を自動測定する LPR-1016

基本情報

LPR-1016
装置名
LPR-1016
製造元
euv tech社(アメリカ)

主な特長

“EUVマスク全自動反射率計 LPR1016”は、EUV露光用フォトマスクの反射率を自動測定する装置です。
本装置は、材料を何層にも重ねたEUV露光用フォトマスクの反射率を 波長精度0.001ナノメートル、反射率精度0.3%以下の高い精度で検査することができます。
この分野では世界で初めて量産用装置として市販された装置で、最先端半導体の研究機関やデバイスメーカーの研究所に導入されています。

アプリケーション

適用デバイス

EUV露光用マスク

適用工程

EUV露光用マスク反射率測定(製品開発、品質管理)

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