ケミカルフィルター利用目的別概要

お客さまの要望に応じた最適なフィルターをご提案します。

OAC(外調機)&FFU(Fan Filter Unit)向けケミカルフィルター

用途について

空気中に存在するさまざまな化学物質は、半導体製造現場で色々な障害を引き起こします。ケミカルフィルターはそれら化学物質を影響が出ない濃度レベルまで除去する製品です。 クリーンルームの中では、工場外気取り入れ口のOAC(外調機)内部や、作業現場天井に配置されるFFU(Fan Filter Unit)に設置されます。

ケミカルフィルターが対象とする空気中の化学物質は、分子状化学汚染物質(AMC:Airborne Molecular Contaminant)と呼ばれ、酸性物質(Acids)、塩基性物質(Bases)、凝縮性有機物質(Condensables)、ドーパント(Dopants)などに分類されます。

種類別設置例

OAC設置例

FFU設置例

その他

KAELケミカルフィルターは、お客さまの要望(適応場所、環境)に応じた最適なフィルターを御提案可能です。

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