膜厚測定装置商品一覧

薄膜化・多層化・新材料の量産導入が進むなかで、新規プロセスの歩留り低下を最小限に防ぐ事は重要な課題です。
Jordan Valley Semiconductors社はX線光学技術の追求によって、高信頼性、高スループット、マイクロスポットの多層膜測定機を生み出しました。
パターン認識ソフトと組み合せる事によって、量産ラインでの実デバイス上測定を提供しています。

製品ウェーハ用X線測定装置

高速X線回折装置

X線結晶欠陥測定装置

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