膜厚測定装置JVX7300HR/JVX6200i

製品ウェーハ測定用 X線測定装置 JVX7300HR JVX6200i

基本情報

JVX7300HR
装置名
JVX7300HR/JVX6200i
製造元
Jordan Valley Semiconductors Inc.

主な特長

JVX7300HR

JVX6200i

アプリケーション

基本仕様

ウエハーサイズ ø8'、ø12
測定光学系 JVX7300HR: HRXRD、XRR
JVX6200i:XRR、XRF
計測材料 HRXRD:SOI/SiGe/Si:C(カーボンドープ)測定
XRR/XRF:各種金属薄膜/絶縁膜の膜厚測定、シングルマイクロバンプ測定
測定項目 膜厚、組成、密度、歪みなど
装置サイズ W 1182×D 2093×H 2080 mm(突起部、付属品除く)
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