マイクロマシン(MEMS)

ナノインプリントの夜明け。MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)

今後ますます高度化するMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)を、半導体・LSI製造技術により培ったマイクロマシンニング技術を利用して、高精度で加工することのできる製造装置や、精密測定装置などをご用意しております。

製品ラインアップ

  • 犠牲層コーディング装置memsstar® Technologyの枚葉式犠牲層ドライエッチング・コーティング装置

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