検索マイクロマシン（MEMS）
今後ますます高度化するMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)を、半導体・LSI製造技術により培ったマイクロマシンニング技術を利用して、高精度で加工することのできる製造装置や、精密測定装置などをご用意しております。
製品ラインアップ
memsstar® Technologyの枚葉式犠牲層ドライエッチング・コーティング装置
研究開発から量産とお客さまのニーズに対応するナノインプリント装置
新着情報
- 2012年6月11日2012年7月11日（水）～7月13日（金）開催される第23回マイクロマシン／MEMS展に出展いたします。
- 2012年1月23日2月15日（水）～2月17日（金）東京ビッグサイトで行われる国際ナノテクノロジー総合展・技術会議に出展致します。
- 2011年11月1日2011年12月7日から幕張メッセで開催するセミコンジャパン2011に出展いたします。
- 2010年8月9日英国Point35社と同社製のMEMS向け犠牲層エッチング・コーティング装置の日本国内における独占販売契約を締結し、販売を開始しました。
お知らせ
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ナノインプリント装置の事例をご紹介します。
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