memsstar®SPD ™|概要

Surface Preparation and Deposition SAMコーティング装置 memsstar® SPD™

基本情報

  • 装置名: memsstar®SPD ™
  • 製造元: memsstar®Technology

特長

  • リモートプラズマによるウエハー表面処理とSAM(Self Assembled Monolayer)コーティング装置
  • 撥水性、親水性それぞれ各種プリカーサに対応
  • 枚葉式による優れたタクトタイムを実現
  • 多様なシステム構成
    開発用の“Solo”、“Sentry”、量産用の“Multi”プラットフォームによる多様なシステム構成が可能
    特に“Multi”プラットフォームではさまざまなプロセスモジュールを組み合せたインライン処理が可能
    犠牲層エッチングとコーティングを大気に曝すことなく連続処理が可能であり、安定したコーティング膜が形成可能

基本仕様

ウエハーサイズ4~8インチおよび不定形
ガスライン3ライン(撥水性或いは親水性x1, O2, N2)
プラズマ源低周波リモートプラズマ

マイクロマシン(MEMS)

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