インライン対応質量分析装置商品一覧

半導体デバイスの微細化・高密度化にともない、半導体製造の工程管理は困難さを極め、またそのモニタリングにかかるコストは増大しています。
Metryx社の質量分析装置は独自の技術を用い、プロダクトウェーハを高速でモニターすることにより、工程管理にかかるコストを低減し、モニタリングが困難、或いはモニタリングに時間を要する工程に対して、今までにない新しい管理手法の提案を行います。

インライン対応質量分析装置

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