インライン対応質量分析装置Mentor DF3/SF3/OC23

Mentor社半導体質量分析装置 Mentor DF3/SF3/OC23

基本情報

Mentor DF3/SF3/OC23
装置名
Mentor DF3/SF3/OC23

主な特長

Mentor DF3/SF3/OC23

アプリケーション事例

基本仕様

Mentor DF3(Dual Foup)

ウエハーサイズ 300mm
測定再現性 0.24mg(3σ)
スループット 最大60枚/時
装置サイズ 1125(W)×1750(D)×1900(H)mm
重量 433kg

Mentor SF3(Single Foup)

ウエハーサイズ 300mm、200mm
測定再現性 0.24mg(3σ)
スループット 最大60枚/時
装置サイズ 890(W)×1156(D)×1490(H)mm
重量 280kg

Mentor OC23(Open Cassette)

ウエハーサイズ 300mm、200mm、150mm、100mm
測定再現性 0.24mg(3σ)
スループット 最大60枚/時
装置サイズ 570(W)×1017(D)×1118(H)mm
重量 190kg