量産対応ランプアニーリング装置AGHeatpulse 8800 Rapid Thermal Processor

実績のある高信頼性の量産対応ランプアニール装置

基本情報

AGHeatpulse 8800
装置名
AGHeatpulse 8800

主な特長

多様な熱処理に対応する量産対応ランプアニール装置

基本仕様

ウエハーサイズø4″~ø8″
適応プロセス温度400~1,200℃
昇温レート10~200℃/sec
温度設定可能時間0~600 sec/block
温度制御パイロメータあるいは熱電対によるクローズドループ
プロセスガスライン最大6ライン
装置サイズW 1,020×D 1,070×H 2,080 mm
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