マスク向けリペア残渣およびパーティクル除去LC™-Extreme Lithography Cleaner™
ECO-SNOW Systems

22nmノードへ対応したマスク向けCO2精密ドライクリーニングによるパーティクル除去装置 ELC™-Extreme Lithography Cleaner™ ECO-SNOW Systems

基本情報

装置名
LC™-Extreme Lithography Cleaner™

おもな特長

商品仕様

装置サイズ
W1,970×D1,890×H2,370mm
スループット
4枚/時

標準搭載機能

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