ウエハ向けパーティクル除去装置WaferClean® 2100Ex / ECO-SNOW Systems

ウエハ向けCO2精密ドライクリーニングによるパーティクル除去装置 WaferClean® 2100Ex ECO-SNOW Systems

基本情報

装置名
WaferClean® 2100Ex

おもな特長

商品仕様

ウェハーサイズ
φ3”~φ8”
装置サイズ
W1,270×D1,372×H2,007mm(WaferClean 2100Ex)
スループット
60枚/時

標準搭載機能

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