半導体検査・計測装置

製品ラインアップ

• X線方式で初のインラインモニター膜厚測定装置
• 精密質量測定による新しい工程管理手法の提案。
• 精密質量測定による新しい工程管理手法の提案

• 前工程／後工程向けウエハー外観検査装置
• ウエハー検査をトータルサポート
• 回路線幅20ナノメートル以降の超微細化を実現

• TEM／SEM試料作製装置

新着情報

• 2012年3月26日2012年4月18日からパシフィコ横浜で開催するPhotomask Japan 2012：第19回ホトマスク技術展示会に出展いたします。
• 2011年12月5日イスラエルCamtek（キャムテック）社との間で、同社製の電子顕微鏡向け試料作製装置の日本国内における独占販売契約を締結し、12月5日より販売を開始します。
• 2011年11月1日2011年12月7日から幕張メッセで開催するセミコンジャパン2011に出展いたします。
• 2011年8月8日産業機器販売事業部は港南事業所へ移転しました。
• 2011年4月13日米国EUV Technology社との間で、同社製のEUV露光計測装置の日本国内における独占販売契約を締結し、4月13日より販売を開始します。
• 2010年7月26日キヤノンマーケティングジャパンは、レイテックス社と同社製ウエハー検査装置の日本国内における独占販売契約を締結し、7月26日より販売開始します。
• 2010年3月24日キヤノンマーケティングジャパンは、イスラエルCamtek社と同社製 外観・欠陥検査装置の日本国内における独占販売契約を締結し、4月1日より販売開始します。