半導体製造装置

製品ラインアップ

• 豊富なラインアップでさまざまなユーザーニーズにお応えするプラズマアッシャー
• 豊富なラインアップを擁するランプアニーリング装置
• 優れた生産性とプロセス性能を両立したプラズマアッシャー

• RAVE社の最先端技術を用いて、フォトマスクの高精度修正を実現
• GemVax&KAEL社製ケミカルフィルター

新着情報

• 2011年11月1日2011年12月7日から幕張メッセで開催するセミコンジャパン2011に出展いたします。
• 2011年8月8日産業機器販売事業部は港南事業所へ移転しました。
• 2011年3月23日出展予定の4月13日（水）、14日（木）Photomask Japan 2011　第18回ホトマスク技術展示会は開催中止となりました。
  Photomask　Japan 2011 オフィシャルページへ(英文による掲載）
• 2010年2月24日韓国 GemVax & KAEL 社と同社製ケミカルフィルターの日本国内における独占販売契約を締結し、3月1日より販売開始します。