アッシング・エッチング装置 製品ラインアップ

LSIの高集積化・高速化は、プラズマプロセスにおける技術の革新・改良を強く求めてきました。キヤノンマーケティングジャパンは、ユーザーの意見に耳を傾け、プラズマプロセスへのトータルソリューションを提供します。

アッシング・エッチング装置

  • MAS-8220高生産性と省スペースを両立した200mmハイスループットアッシング装置のベストセラー機

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