アッシング装置 製品ラインアップ
革新的な搬送システムにより世界最速のスループットを実現しました。さらにマトソン独自のICPプラズマソースにより、最先端プロセスアプリケーションへの対応を可能としています。
アッシング装置
最先端プロセス、300mm量産ライン対応の高スループット・低CoOのプラズマアッシング装置
実績のある高信頼性・高生産性の量産ライン対応プラズマアッシング装置
90nm以降のプロセスインテグレーションに最適なハイパフォーマンスのプラズマアッシング装置
この商品に関するお問い合せ
キヤノンマーケティングジャパン株式会社 プロセス機器営業部 販売第一課
- 電話番号
- 03-3740-3399
- FAX番号
- 03-3740-3376
- 住所
- 〒108-8011 東京都港区港南2-13-29 キヤノン港南ビル
- ※ 年末年始弊社休業日は休ませていただきます。
