RTP装置 製品ラインアップ

キヤノンマーケティングジャパンはRTP技術の創生期よりランプアニール装置の事業に携わってまいりました。
微細化が進む半導体製造プロセスにおいてますます要求が厳しくなる中、豊富なラインアップを用意し、多岐にわたるアプリケーションへの対応を可能にして、長年にわたる経験と実績をもとにご要望にお応えしてまいります。

RTP装置

• 32nmプロセス以降の次世代デバイス向け高速アニーリング装置
• 45nmプロセス以降の酸化膜形成アプリケーションに最適な300mm量産ライン対応のランプアニーリング装置
• 最先端300mm量産ニーズに最適なソリューションを提供する高性能ランプアニーリング装置

• 実績のある高信頼性の本格量産対応ランプアニーリング装置