光学計測機器三次元光学プロファイラー商品比較表

測定性能

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ZeGage™
垂直走査範囲 20000μm以下 20000μm以下 20000μm以下
最小~最大システム倍率
(最小~最大光学倍率)
10倍~4000倍
(0.5倍~200倍)
10倍~4000倍
(0.5倍~200倍)
13.5倍~675倍
(0.675倍~33.75倍)
最大測定エリア 200mm×200mm 150mm×150mm※1 100mm×100mm※1
全対物レンズで同一の測定精度
全対物レンズで同一の測定速度

基本機能

機種 Nexview™ NewView™ 8000 ZeGage™
原理 CSI、PSI※2 CSI CSI
光源 LED LED LED
絞り ○(電動)
光学ズームレンズ ○(3本) ※3
レンズ切替時のステージ自動補正 ※4 ※4 ※4
オートフォーカス
オートチルト ※5
計測ソフトウェア Mx Mx Mx

ハードウエア オプション

機種 Nexview™ NewView™ 8000 ZeGage™
電動Zステージ ○(標準) ○(標準) ○(標準)
電動XYステージ ○(標準)
電動Tip / Tiltステージ ○(標準)
対物レンズタレット
校正原器 平面、段差、幅 平面、段差、幅 平面、段差、幅

ソフトウエア オプション

機種 Nexview™ NewView™ 8000 ZeGage™
スティッチング測定 ○(標準) ※6 ※6
膜表面測定
膜厚/界面測定
画像認識処理※7
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