製品比較表
NewView™ シリーズ 比較表
測定性能
| 機種 |  7300 |
 7200 |
 7100 |
 700S |
 700P |
|---|---|---|---|---|---|
| 原理 | SWLI＋FDA | SWLI＋FDA | SWLI＋FDA | SWLI＋FDA | PSI＋VC |
| 垂直分解能 | 0.1nm未満 | 0.1nm未満 | 0.1nm未満 | 0.1nm未満 | 0.1nm未満 |
| 垂直走査範囲 | 20000µm以下 | 20000µm以下 | 20000µm以下 | 150µm以下 | 138µm以下 |
| 測定スピード | 135µm／s以下 | 26µm／s以下 | 26µm／s以下 | 26µm／s以下 | 1sec以下（測定時間） |
| RMS再現性 | 0.01nm未満(1σ) | 0.01nm未満(1σ) | 0.01nm未満(1σ) | 0.01nm未満(1σ) | 0.01nm未満(1σ) |
| 段差測定再現性 | 0.1％以下(1σ) | 0.1％以下(1σ) | 0.1％以下(1σ) | 0.1％以下(1σ) | 0.1％以下(1σ) |
| 段差測定正確性 | 0.75％以下 | 0.75％以下 | 0.75％以下 | 0.75％以下 | 0.75％以下 |
| 最小～最大システム倍率 （最小～最大光学倍率） |
10倍～4000倍 （0.5倍～200倍） |
10倍～4000倍 （0.5倍～200倍） |
15倍～1500倍 （0.75倍～75倍） |
15倍～1500倍 （0.75倍～75倍） |
15倍～1500倍 （0.75倍～75倍） |
| 最大測定視野 | 150mm × 150mm ※1 | 150mm × 150mm ※1 | 150mm × 150mm ※2 | 14.54mm × 14.54mm | 14.54mm × 14.54mm |
- ※1スティッチング利用時。1ショットではφ21.91mm
- ※2スティッチング利用時。1ショットでは14.54mm×14.54mm
基本機能
| 機種 | 7300 | 7200 | 7100 | 700s | 700p |
|---|---|---|---|---|---|
| 光源 | 高輝度白色LED | 高輝度白色LED | 高輝度白色LED | 高輝度白色LED | 高輝度白色LED |
| コラム形状 | 振動抑制アーチ状 | 振動抑制アーチ状 | 振動抑制アーチ状 | 柱状 | 柱状 |
| ピエゾ素子制御方式 | デジタル式クローズドループ | デジタル式クローズドループ | デジタル式クローズドループ | デジタル式クローズドループ | デジタル式クローズドループ |
| フォーカスあわせ補助 | 円形絞り&オートフォーカス機能 | 円形絞り&オートフォーカス機能 | Focus aid（トレイ）&オートフォーカス機能 | Focus aid（トレイ） | Focus aid（トレイ） |
| ズームレンズの変更 | ○（電動） | ○ | － | － | － |
| アパーチャーの絞り | ○ | － | － | － | － |
| 全対物レンズで同一の測定精度 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 全対物レンズで同一の測定速度 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| モータースキャン | ○ | ○ | ○ | － | － |
| レンズ切替時の位置自動修正 | ○ ※3 | ○ ※3 | ○ ※3 | － | － |
| オートフォーカス | ○（高速） | ○ | ○ | － | － |
| オートチルト | ○ ※4 | ○ ※4 | ○ ※4 | － | － |
- ※3電動タレットと5軸電動ステージを選択した場合
- ※4電動Tip／Tiltステージを選択した場合
ハードウエア オプション※5
| 機種 | 7300 | 7200 | 7100 | 700s | 700p |
|---|---|---|---|---|---|
| 電動Zステージ | ○（標準） | ○（標準） | ○（標準） | － | － |
| 電動XYステージ | ○ | ○ | ○ | － | － |
| 電動Tip／Tiltステージ | ○ | ○ | ○ | － | － |
| EncodedZ,XYステージ | ○ | ○ | ○ | － | － |
| 電動対物レンズタレット | ○ ※6 | ○ ※6 | ○ ※6 | ○ | ○ |
| 1K（高画素）CCDカメラ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 精密水平キャリブレーション | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| スティッチング測定 | ○ ※7 | ○ ※7 | ○ ※7 | － | － |
| XY座標指定測定 | ○ ※7 | ○ ※7 | ○ ※7 | － | － |
| ディスククランプ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 吸着ステージ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| DynamicMEMS測定キット | ○ | ○ | ○ | ○ | － |
| 大型ステージ | ○ ※8 | ○ ※8 | － | － | － |
- ※5ハードウエアオプションについては非純正の治具作成などの特注対応が可能な場合あり（お問い合せください）
- ※6あわせて5軸電動ステージを選択した場合はレンズ切替時のステージ自動補正機能を利用可能
- ※7電動XYステージを選択した場合。視野150mm×150mmまで可能
- ※8大型筐体CPモデルとしてのご提供
ソフトウエア オプション
| 機種 | 7300 | 7200 | 7100 | 700s | 700p |
|---|---|---|---|---|---|
| 平均段差測定 | ○（標準） | ○（標準） | ○（標準） | ○（標準） | ○（標準） |
| うねり／粗さ同画面解析 | ○（標準） | ○（標準） | ○（標準） | ○（標準） | ○（標準） |
| Peak／Valley解析 | ○（標準） | ○（標準） | ○（標準） | ○（標準） | ○（標準） |
| 膜表面測定 | ○ | ○ | ○ | ○ | － |
| 膜厚／界面測定 | ○ | － | － | － | － |
| 研削スジ方向解析 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 画像認識処理※9 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
- ※9線幅測定、角度測定、円形状の直径測定、位置検出（ステージ制御に応用）などが可能
