GPI™ シリーズ  製品ラインアップ

フィゾー干渉計をベースとしたZygo社の非位相シフト法シリーズです。
目視による干渉縞の観察モデルとキャリア干渉縞位相解析が可能な測定・解析モデルをラインアップ。VeriFireシリーズ共通の多彩なアクセサリーにより、平面・球面をベースとした各種光学部品の面精度および透過面精度が評価可能です。
また、シンプルな操作性から、生産・加工現場での検査ツールとして有効です。

GPI™ シリーズ

  • GPI™ LC干渉縞観察モデル(ズーム固定)
  • GPI™ ST干渉縞観察モデル(ズーム付)
  • GPI™ FPキヤリア干渉縞位相解析(FlashPhase™)モデル

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キヤノンマーケティングジャパン株式会社
プロセス機器営業部  ZYGO販売課

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