• 概要
  • 特長
  • 仕様

Mini™XP|特長

Mini&tradeXP; コンパクト干渉計 防振台不要の現場向けモデル。

位相シフト干渉計

ZYGO伝統のフィゾー型干渉計を小型筺体に格納し、高精度なピエゾユニットを取り付けたコンパクトサイズの位相シフト干渉計です。フィゾー型の特長として干渉計内部の光学影響はキャンセルされ、システム品質は原器に依存します。目的に応じた精度、f値の原器を使い分けることで、高精度に面精度の評価ができます。

耐振動性の新アルゴリズム

防振台を不要とする画期的な振動補正アルゴリズムを搭載しました。このアルゴリズムにより、加工機の近くなどの振動の大きい環境においても高精度な測定が可能です。MiniXPは防振台いらずで加工現場における測定に活用できる、今までにない画期的なフィゾー型位相シフト干渉計です。

曲率半径計測オプション

エンコーダーを内蔵したZステージモデルをオプションで用意しました。直感的にアライメントができるMiniXP専用ソフトウエアとの連携により、誰でも簡単に高精度なレンズの曲率半径計測ができます。

簡単セットアップ

φ60mmの口径をベースとしたコンパクト設計により、設置面積を非常に小さくすることに成功しました。装置本体とタッチパネル型の専用端末をつなぐケーブルはたったの2本で、誰でも簡単にセットアップできます。

非接触型リモコン

研磨加工を行っている現場での操作を念頭に、汚れた手でも測定を開始できるよう、非接触型のセンサーを用いたリモコンを標準添付しました。手などをセンサーにかざすことで測定を開始できますので、ボタンを押すといったスイッチに触れる動作が不要です。精密機械である測定機を汚すことなく利用可能です。

新開発の口径60mm原器群

Mini専用に口径60mmの原器を開発しました。平面原器に加え、f/0.7, f/1.0, f/1.5, f/2.0, f/3.4, f/5.7の6種類のf値の球面原器をラインアップしています。お客さまのサンプルに応じて、最適な原器をお選びいただけます。

OS・ソフトウエア

タッチパネル一体型解析用コンピューターが付属します。タッチパネルと親和性の高い直感的なユーザーインターフェースを採用しましたので、初めて装置に触れる方でも簡単に操作を覚えることができます。
MiniXPではMiniの基本機能に加え「3次元マップ表示」「Zernike収差係数解析」「再解析可能な測定データの保存」にも対応しました。特にデータ保存では、ネットワークでつながるサーバーへ書き出すことも可能です。閾値設定による合否判定と組み合せることで、大量生産品の管理に最適なシステムに仕上がりました。

測定事例

  • レンズの面精度
  • Zernike収差係数評価

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