• 概要
  • 特長
  • 仕様

Mini™XP|基本仕様

Mini™ XPコンパクト干渉計 防振台不要の現場向けモデル。

基本仕様

仕様

モデル名 Mini™XP
タイプ フィゾー型、メカニカル位相シフト干渉計
計測方法 ZYGO独自の位相シフト干渉法
光源 半導体レーザー クラスII(637nm)
標準測定口径 60mm
設置形態 垂直上向き、他応相談
アライメント機構 ツインスポットレチクルによるQFAS
アライメント視野角 ±1.1°
フォーカス範囲 ±500mm
データ取得時間 3秒未満
コンピューター 専用タッチパネル搭載PC
解析ソフトウエア Mini専用ソフトウエア

測定精度

面精度※1 原器に依存
再現性 4nm以下

寸法/重量

寸法※2 226mm×140mm×183mm(L×W×H)
質量※2 5.6kg

使用環境

温度15℃~25℃
温度変動率1℃/15分未満
湿度5~95%RH 結露なきこと
防振 ほとんどの環境下では防振不要※3

ユーティリティー

供給電力100VAC、50/60Hz、単相アース付

測定試料

材質ガラス、金属、樹脂など
測定前処理特に必要なし
試料反射率 0.1%~100%(透過型原器の選択による)

ZYGO

  • デモンストレーションルーム
  • Metrology セミナー
  • Zygo社の概要
  • 製品カタログ
  • お問い合せ
このページのトップへ