PTI250™ シリーズ  製品ラインアップ

PTI 250シリーズは、Zygo社の標準機であるVeriFireおよびGPI干渉計と高い相関を持ちながら、コストとフットプリントを抑えた小口径干渉計システムです。
平面や球面の反射波面測定やさまざまな光学部品の透過波面測定を非接触で行い、ナノメートルオーダーでの高速、高精度測定が可能です。
また、MetroProソフトウエアに加え日本語GUIによる簡易なオペレーションが可能です。 オプションとしてビーム径を6mm、2”へ変換するコンバーターを用意しています。

PTI250™ シリーズ

  • PTI250™ P小口径干渉計、位相シフトモデル
  • PTI250™ RS小口径干渉計、位相シフト+FlashPhase解析

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キヤノンマーケティングジャパン株式会社
プロセス機器営業部  ZYGO販売課

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