• 概要
  • 仕様

DynaFiz™|概要

瞬間計測干渉計動的解析のLivePhase™搭載 DynaFiz™

  • ビーム径4インチから6インチ
  • He-Neレーザー633nm
  • 位相シフト
  • Dyna Phase™
  • Live Phase™
  • 1200×1200
  • 50HZ
  • ズーム1x,1.7x,3x
  • MetroPro™ X

基本情報

  • 商品名:DynaFiz™
  • 商品名:DynaFiz™ with PMR

特長

波面の動的計測の新標準となるレーザー干渉計モデルです。新開発のDynaPhase™、LivePhase™アルゴリズムがリアルタイム計測・解析を実現し、動画のようなリアルタイム表示を可能としました。Zygo社の定評あるレーザー干渉計がさらに使いやすく進化し、動的な計測への新しいアプローチをお客さまに提案します。

最新のMetroPro™ Xソフトウエア

高度な解析機能を備えたMetroPro™ソフトウエアを新しいユーザーインターフェースに刷新した、新開発のMetroPro™ Xソフトウエアを搭載しました。LivePhase™アルゴリズムにより、リアルタイムの位相マップとZernike収差グラフの同時表示を実現しています。また、これまでの干渉計では信頼性の無かったアイランド形状も測定可能となりました。

新開発の干渉計メインフレーム

長寿命・安定化レーザーの採用で、空気揺らぎや激しい振動環境下での瞬間的な干渉縞計測が可能になりました。また、最適化された新しい光学設計により、高密度な干渉縞(位相スロープ)での計測限界も向上しています。もちろん業界標準のZygoアクセサリーを使用できるため、さまざまな測定セットアップに対応可能です。

測定事例

測定画面の例リアルタイム位相マップとともにZeriniki多項式へフィットした収差解析表示

  • 振動のある環境での反射波面測定
  • アイランド形状の評価
  • 大口径光学系への拡張

スペシャルコンテンツ

  • ユーザーインタビュー実際にどのような場面でZYGOを活用されているのか、ユーザーの方々に具体的にお話を伺いました。

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