ZMI シリーズ  製品ラインアップ

ZMI シリーズ製品は、Zygo社独自の先進の2周波方式ヘテロダイン干渉計とASICによる位相計測技術をベースに、高分解能、高速追従性、超高確度のデータディレィを実現した、レーザー変位測定干渉計（DMI）です。
ZMIの製品ラインは、幅広い価格、性能レンジに対応可能。日進月歩で変化するステージ計測アプリケーションニーズに、次世代の要求へも対応するソリューションを提供します。