Metrology セミナー

Zygo Metrology Seminar2016 お客さまだけに特別にお届けする 良質な技術セッション

お客さま各位

平素よりZygo社製品をお引き立ていただき、誠にありがとうございます。私共ZYGO部では、関連する学術分野での研究職の方々やユーザー各社様のご支援をいただき、Zygo社の協力の下で本年も11月16日に第14回目となるZygo Metrologyセミナー2016を開催する運びとなりました。
今回は「Zygoメトロロジー活用による自社の技術向上」をテーマといたしました。例年と異なり、本年はZygo社製品の活用方法によりフォーカスをあてた内容で、演者の皆さまより最新の技術トピックスをご講演いただく予定です。会場の皆様からのご意見も期待しております。セミナー終了後の懇親会も、皆様の情報交換の場としてご活用いただければ幸いに存じます。
今後ともZygo社製品、並びにキヤノンマーケティングジャパン株式会社をよろしくお願い致します。

セミナー内容

講演1

「TMTミラーの面形状計測技術」
キヤノン株式会社
半導体機器第二PLMセンター LSオプティクス開発室 主幹 松田 融様
概要:
国際協業で建設されるTMT望遠鏡は約500枚のセグメントミラーから構成される。このセグメントミラーは大口径(約1.5m)でかつ曲率Rが大きい(約60m)非球面形状であるため、面形状の計測が困難である。キヤノンではこのセグメントミラー量産のために、DynaFiz干渉計や接触式測定器など、空間周波数帯域に応じて複数の計測方法を組み合わせた面形状計測手法を確立した。この計測手法について紹介する。

講演2

「Stonelappingの品質におけるZygo NewViewによる測定結果について」
西部自動機器株式会社
上席技術顧問 堀捷樹様、 生産部課長 上池 満洋様
概要:
加工技術の向上は評価技術(分析・解析・測定)の向上と表裏一体であり、最近超仕上げ加工(社内名称 Stonelapping)の品質が益々向上し、その評価技術を確立する要求に迫られている。そこで、形状特性、特に表面粗さの形状測定にZygo NewView8300を使用し、Stonelapping後の形状特性を求めた事例を紹介すると同時に、Stonelapping加工技術の現状についても報告する。

講演3

「Zygo社走査型フィゾー干渉計を利用した高精度光学素子の製作事例」
夏目光学株式会社
テクノロジーセンター 取締役所長 橋爪 寛和様
概要:
夏目光学株式会社は高精度・特殊な光学素子を提供し続けて70年となった。長く培ってきた特殊光学素子の加工技術と、Zygo社の先端的な計測システムを利用した評価技術との融合により、高精度な光学素子を実現している。本セミナーではZygo社干渉計を利用した様々な光学素子の計測事例と、その計測結果を用いて精密修正研磨を施した高精度光学素子の製作事例を紹介する。

講演4

「高精度平面の加工/計測技術」
株式会社テクニカル
製造一課 課長 工藤 渉様
概要:
特許技術「クロビット」、「表面品質比較判断プレート」のご紹介。高精度平面の加工と計測技術のご紹介。産業技術総合研究所との超高精度平面研磨技術の共同研究について説明。λ/100原器の研磨、およびZYGO干渉計を用いたその評価方法について説明。

講演5

“Transparent surface films analysis using the ZYGO Nexview™ interference microscope”
Zygo Corporation, Senior Reserch Scientist, Martin Fay
概要:
Zygo社の開発している、透明膜表面解析のための最新の技術トピックスを紹介する。

懇親会

CANON S TOWER 28階 SHINAGAWA CLUBにて (17時30分~)

プレセッション 

本セミナーの開演に先立ち、Zygo製品の活用方法や技術理論に関する4テーマを取り上げたプレセッションを開催いたします。お時間がございましたら、ぜひともご興味のある2テーマ、もしくは1テーマをお選びいただき、ご参加くださいませ。

お申し込み

定員に達したためお申し込みは終了いたしました。
たくさんのお申し込みいただきありがとうございました。

開催概要

本セミナーについてのお問い合せ

ZYGO販売課 セミナー担当

電話番号
03-3740-3334

過去のZygo Metrology セミナー

これまで行われたZygo Metrologyセミナーの情報を掲載しています。

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