ニュースリリース

2011年3月30日

リアルタイムの動的計測が可能なレーザー干渉計
“Zygo DynaFizシリーズ”を発売


キヤノンマーケティングジャパン株式会社(社長:川崎正己、以下キヤノンMJ)は、米国Zygo(ザイゴ)社(Zygo Corporation、CEO:Dr.Chris L. Koliopoulos)製のレーザー干渉計“DynaFiz(ダイナフィズ)シリーズ”2機種を3月30日より販売を開始します。

レーザー干渉計“DynaFiz”
レーザー干渉計“DynaFiz”
レーザー干渉計“DynaFiz”
  • Zygo社DynaFiz
    価格(税別)1300万円~(販売開始時期:3月30日)
  • Zygo社DynaFiz with PMR
    価格(税別)1450万円~(販売開始時期:3月30日)
  • 装置構成により価格は変動します。

レーザー干渉計は、光学部品や鏡面加工部品の品質検査に不可欠な汎用的な計測機器です。干渉計本体に装着された基準原器と、測定対象面の反射で発生する干渉縞という明暗の画像を収集し、測定対象面の形状精度に相当する位相情報を求めるものです。対象物を透過したあとの波面収差としての位相情報を捉えることから、反射面のみならず光学レンズや光学システムの品質評価、組み込み調整にも利用されています。

■“DynaFiz”の特長

Zygo社のレーザー干渉計は、1972年の世界初汎用モデルGHの発売以来、顧客から業界標準機として高い信頼を得ています。“DynaFiz”は、新開発のDynaPhase動的計測技術により、1フレームの干渉縞情報から瞬時に位相データを算出できます。従来のレーザー干渉計では困難だった空気揺らぎや激しい振動での環境下でも高い分解能で測定することができます。また、最速で毎秒82フレームの位相マップを表示できるLivePhase技術により、リアルタイムの動的計測を実現します。

■キヤノンMJの目的

キヤノンMJは、今後需要の伸びが期待されている動的計測・リアルタイム計測に対応したレーザー干渉計として本装置“DynaFiz”を拡販します。装置の輸入販売だけでなく、納入後の技術サポートとフィールドサービスも担います。

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