半導体／産業機器
高精度・高生産性の両立を実現した半導体露光装置
最新プロセスに対応した半導体製造装置
半導体製造などのプロセス管理向け高感度検査・計測装置
高機能・高生産性・高信頼性を誇る、各種FPDの量産に対応したMPAシリーズ
MEMS／NEMSプロセスを高精度・高生産性で支える製造装置や精密測定装置
Zygo社の超精密測定技術を結集した干渉計システムによる計測ソリューション
キヤノン独自の技術を結集した、小型・高精度コンポーネント
Xradia社独自の光学系コンポーネントによる断層撮影装置
