ハイスループットアッシング・エッチング装置AlcanTech

AlcanTechハイスループットアッシング・エッチング装置について

LSIの高集積化・高速化は、プラズマプロセスにおける技術の革新・改良を強く求めてきました。キヤノンマーケティングジャパンは、ユーザーの意見に耳を傾け、プラズマプロセスへのトータルソリューションを提供します。

新着情報

• 2014年2月4日新製品MAS-8220ATを掲載いたしました。
• 2012年12月28日ハイスループットアッシング・エッチング装置サイトをリニューアルいたしました。