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ハイスループットアッシング・エッチング装置
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ロングセラーのMASシリーズに待望の新機種MAS-8220 ATを発売します。
従来の特長を活かして、更なる生産性向上を実現しました。
MAS-8220AT
高生産性と省スペースを両立した200mmハイスループットアッシング・エッチング装置のベストセラー機。
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