MAS-8220AT｜概要プラズマエッチング・アッシング装置
基本情報
- 装置名
- MAS-8220AT
主な特長
高生産性と省スペースを両立したプラズマエッチング・アッシング装置
- オールインワン構造によるトータルフットプリント27％削減（MAS-8220比較）
- 最新型サーボモータロボット搭載によるメカニカルスループット20％向上（MAS-8220比較）
- 新設計ユニット搭載による消費電力20％削減（MAS-8220比較）
- 長期供給保証PCの採用（GUI-OS Windows7 Embedded）
- 独立した2式のプロセスチャンバと高速多関節ロボットにより、多彩で高速な搬送シーケンスに対応。
- ハイレート、ハイドーズ、ディスカムなどの多種レジストアッシング工程に対応。
- SiO2、ポリシリコン、SiNなどの等方性エッチング工程、RFプラズマ方式を用いての異方性エッチング工程に対応可能。
- マイクロ波＋RFバイアス印加を標準オプションとして対応。高速エッチングが可能となります。
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