光学計測機器レーザー干渉計 Sシリーズ特長

フィゾー型 レーザー干渉計 Sシリーズ

3種の光源オプションをラインアップ

SCI(Spectrally Controlled Interferometry:スペクトル制御干渉法)ユニット

Äpre社の独自開発技術であるスペクトル制御干渉法(SCI)を可能とするオプションです。
SCIは、精密計測の課題である平行平面板やプリズムなど、試料裏面によるフィゾー干渉への影響を除去します。測定における不確かさを向上させるだけでなく、従来の裏面処理(ペイント、テープ、荒刷り)が不要となり時間と手間を軽減します。
さらに、最小で100ミクロンの試料までの“厚さばらつき測定”、“表面分離”が可能です。

波長変調光源ユニット

波長変調光源ユニットの追加、搭載により、機械的な位相シフトを不要とします。大口径の球面原器や平面原器を利用する干渉計測に有効です。光学厚み約20mm以上の平行平面板単体の、内部干渉縞計測を可能にします。さらに、薄い平面板(ウインドウ、フィルター基板、プリズム等)の裏面干渉縞を除去した測定は、“SCI” ユニットが優位ですので、そちらを参照ください。

近赤外波長光源ユニット

近赤外光用途で使用する光学システムの測定に対応します。

干渉計内部のリトレースエラーを最小化

光学部品のレイアウトと品質の最適化

回折限界までの優れたイメージング分解能

検出できる干渉縞(フリンジ)本数の最大化

パワフルなデータ解析とレポート機能

操作性を追求したÄpre社開発の専用ソフトウエア“REVEAL™”が測定からデータ解析、レポート作成などをサポートします。

  1. 分かりやすい図記号で配列
  2. 豊富な測定パラメータ
  3. アウトプットデータは、業界標準型式と互換性有り

「VTPSI(Vibration Tolerant PSI)測定機能」標準搭載

「Carrier Fringe測定機能」標準搭載

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