光学計測機器レーザー干渉計 Sシリーズ特長

フィゾー型 レーザー干渉計 Sシリーズ

回折限界までのイメージ分解能の向上

イメージ分解能(Image Resolution)とは、どれだけ小さな領域の凹凸を計測できるかの水平方向の指標です。S50|HRの場合、50μmの高いイメージ分解能を実現します。近年のCNC研磨加工、精密切削加工では、中間領域の空間周波数の凹凸制御は重要課題となっております。加工ツールや加工駆動系の状態を見るには、それ相応のイメージ分解能が必要となります。

イメージ分解能

検出可能な干渉縞(フリンジ)本数の最大化

干渉縞本数(Fringe Resolution)とは、観察視野において、干渉計測が可能な測定対象面の傾斜限界です。Sシリーズで位相シフトする場合、最大650本/視野に対応します。多くの干渉計は、視野絞りにより傾斜面からの戻り光を遮断してしまいますが、この限界を改善し、より大きな収差の波面の計測が可能となります。

干渉縞本数

干渉計内部のリトレースエラーを最小化

複数の干渉縞がある場合での測定時に発生するリトレースエラーを最小化する光学デザインと、そのパフォーマンスを引き出す光学部品を選定し、計測における不確かさを極限まで低減します。Sシリーズは全モデル、干渉縞500本でも、λ/20未満のリトレースエラーを実現します。これにより大きな収差波面の高精度な計測が可能です。また、干渉縞本数の調整が不要で、キャリアフリンジ法では誤差補正も不要となります。

計測における不確かさを極限まで低減

画像歪み(水平方向誤差)の低減

画像歪み(Image Distortion)とは、測定対象の位置が、測定データとして正しく再現されない割合を表します。Sシリーズは全モデル、わずか0.1%未満の画像歪みを実現します。近年のCNC研磨は、形状データからの補正加工が主流となっております。画像歪みの存在は、誤った位置を加工するリスクとなります。

画像歪み

像面湾曲(フォーカス方向誤差)の最小化

像面湾曲(Image Field Curvature)とは、光軸中心から端部に向かった焦点合致面(像面)の湾曲度合を表します。Sシリーズは全モデル、わずか30μm未満の像面湾曲を実現します。これにより測定対象面の全域に渡って、優れたイメージ分解能を維持することが可能です。

像面湾曲

パワフルなデータ解析とレポート機能

操作性を追求したÄpre社開発の専用ソフトウエア“REVEAL™”が測定からデータ解析、レポート作成などをサポートします。

データ解析輝点を表示するAlignment Camera画面と
干渉縞を観察するMeasurement camera画面は
同時表示ができ簡単に干渉縞の調整ができます。
レポート作成

選択可能な豊富なパラメータ

Applications Filters Analysis Results
BASIC
  • Form
  • Radius of Curvature
Fourier(有償オプション)
  • MTF, PSF, PSD
Optical Shop Testing (有償オプション)
  • Wedge
  • PHom
  • Prism
  • Masking
  • Auto Aperture
  • Reference subtract
  • Box
  • Erosion(inside/out)
  • Median
  • Individual Zernike
  • Spike
  • Affine Transforms
  • Acquisition Modes
    • Vibration Tolerant PSI
    • Wavelength Shifting
    • Carrier Fringe
  • Zernike
  • 3D View
  • Sections
  • PVr
  • Islands
  • ISO10110-14
  • ISO & Seidel
  • PV, RMS
  • PVr
  • Tilt
  • Power
  • Astigmatism
  • Coma
  • SA3

VTPSI(Vibration Tolerant PSI)測定機能 標準搭載

補正前 補正後

Carrier Fringe測定機能 標準搭載

干渉縞像から波面性状の算出

干渉縞像から波面性状の算出
  1. キャリア縞(強度情報)のフーリエ変換を行いスペクトルを演算
  2. 変調位相成分(1次成分)のみを抽出
  3. 逆フーリエ変換で、位相情報に戻す
  4. 2n-piの不確かさを含む位相データであるため、位相接続(アンラッピング)を行い波面の凹凸情報に直す
M.Takeda, H.Ina, S.Kobayashi "Fourier-transform merhod of fringe-pattern analysis for computer-based topography and interferometry"
JOSA, Vol. 72, Issue 1, pp. 156-160(1982).
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