光学計測機器フィゾー型 レーザー干渉計 Sシリーズ仕様

レーザー干渉計 独占販売モデル S100|SRW

商品仕様

Sシリーズ 口径サイズ SRW 波長変調モデル
  • キヤノンマーケティングジャパン株式会社独占販売機種
SR スタンダードモデル HR ハイスペックモデル
光線口径 S50 2inch(51mm)
S100 4inch(102mm)
S150 6inch(153mm)
光軸高さ S50 108mm
S100 108mm
S150 133mm
フォーカス範囲 S50 ±2,000(mm)
S100 ±2,000(mm)
S150 ±4,500(mm)
本体寸法
(W×D×H)
S50 630×290×180(mm)
S100 700×320×250(mm)
S150 902×408×239(mm)
重量 S50 25kg
S100 33kg
S150 50kg
計測原理 波長変調位相シフト法
(Wavelength Shifting PSI)
位相シフト法(PSI)
キャリアフリンジ法
アライメントシステム 2スポットレティクル(角度範囲2度)
レーザー光源 波長変調633nmレーザー 波長安定化 SLM 633nm He-Neレーザー
レーザー波長安定性 <0.0001nm
可干渉距離 >100m
光線偏光 円偏光
光源オプション SCI光源、近赤外波長光源 SCI光源、波長変調レーザー光源、近赤外波長光源
カメラ解像度 1024 × 1024 画素 2044 × 2044画素
最小シャッター速度 9μ秒
デジタイゼイション 12ビット
コンピューター&ソフトウエア 高性能PC、Windows® 64-bit OS(ノートPCオプション可能)
REVEALソフトウエア
本体固定方向 水平、または垂直
対応アクセサリー 業界標準バヨネットマウント

性能仕様

Sシリーズ 口径サイズ SRW SR HR
画像解像度
(回折限界)
S50 100μm 50μm
S100 200μμm 100μm
S150 300μm 150μm
画像歪み <0.1%(全フォーカス範囲)
画面フィールド平面度 <30μm(試料距離2mにて)
フリンジ解像度 325本/口径 650本/口径
250本/口径(キャリアフリンジ測定) 500本/口径(キャリアフリンジ測定)
リトレース誤差 <λ / 20@250フリンジ <λ / 20@500フリンジ
RMS単純再現性 <0.5nm RMS 2σ、平均化なし
RMS波面再現性 <0.5nm RMS 2σ、平均化なし
試料反射率 0.5%~40%(直接測定)
41%以上(減衰フィルターまたはコーティング対応)

環境仕様

Sシリーズ 口径サイズ SRW SR HR
温度 15℃~30℃
温度変化 <1.0℃ / 15分
湿度 5%~95%、結露がないこと
振動対策 防振台の使用を推奨
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