エアベアリング|概要

サブミクロンを超える回転精度、高剛牲、高耐久性などすぐれた特牲を持つエアベアリング キヤノンセミコンダクターイクイップメント株式会社製

おもな特徴

エアベアリング(静圧空気軸受)は外部より圧縮空気を絞り(流体抵抗)を通して狭い軸受すきまに送り、その圧力によって負荷能力を発生する軸受けです。軸と軸受は完全非接触のため種々の優れた特徴があります。

高精度 High precision
高剛性 High stiffness
高減衰性 High damping
信頼性 High reliability
クリーン No Oil mist
エコロジー Energy saving
  • 非接触のためスティックスリップがなく、滑らかに回転、精度は半永久的に維持
  • 独自の多孔質絞りにより高剛性と高負荷容量を実現
  • 高い振動減衰特性を示す設計思想
  • 自己潤滑性の高い軸受面と回転部の表面処理により焼き付きトラブルに強い
  • 潤滑油を使用せず、とてもクリーンでメンテナンスフリー
  • 空気の消費流量が少なく付帯設備小型化に貢献
  • 摩擦による発熱がなく高速・高加速に最適
  • 種類が豊富で幅広い知識と経験でお客さまをサポート

軸受けの種類と特性

  転がり 油静圧 エアベアリング
回転精度 普通
μm
優れる
sub μm
優れる
sub μm
高速回転 普通 劣る 優れる
発熱少
振動/静粛 劣る/普通 優れる 優れる
非接触
負荷容量 優れる 普通 劣る
剛性 優れる 普通 劣る/普通
減衰性 劣る 優れる 普通
寿命 普通/劣る
摩耗
普通/劣る
油シール構造
優れる
非接触
クリーン/環境負荷 普通 劣る 優れる
排気は空気のみ
コスト 優れる 普通 普通
付帯設備 優れる 劣る 普通

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  • 応用例

    加工主軸・検査装置のターンテーブルなどに最適。高精度な位置決めテーブルや高速加工軸としてお客さまのご要望に基づいた設計製作をお引き受けします。

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