会社概要
キヤノンセミコンダクターエクィップメント社について
エアベアリング(静圧空気軸受)は外部より圧縮空気を絞り(流体抵抗)を通して狭い軸受すきまに送り、その圧力によって負荷能力を発生する軸受けです。軸と軸受は完全非接触のため種々の優れた特徴があります。
転がり | 油静圧 | エアベアリング | |
---|---|---|---|
回転精度 | 普通 μm |
優れる sub μm |
優れる sub μm |
高速回転 | 普通 | 劣る | 優れる 発熱少 |
振動/静粛 | 劣る/普通 | 優れる | 優れる 非接触 |
負荷容量 | 優れる | 普通 | 劣る |
剛性 | 優れる | 普通 | 劣る/普通 |
減衰性 | 劣る | 優れる | 普通 |
寿命 | 普通/劣る 摩耗 |
普通/劣る 油シール構造 |
優れる 非接触 |
クリーン/環境負荷 | 普通 | 劣る | 優れる 排気は空気のみ |
コスト | 優れる | 普通 | 普通 |
付帯設備 | 優れる | 劣る | 普通 |
加工主軸・検査装置のターンテーブルなどに最適。高精度な位置決めテーブルや高速加工軸としてお客さまのご要望に基づいた設計製作をお引き受けします。