精密光学コンポーネントエアベアリング寸法図

外形寸法
AB-30RH

AB-50R AB-50RV

AB-50LRV

AB-80R/100R/150R/200R/250R

型式 寸法項目 |
30RH | 50R ※50RV |
80R ※80RV |
100R ※100RV |
150R | 200R | 250R | 300R | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
D1 | Φ4 | Φ15 | Φ20 | Φ30 | Φ50 | Φ70 | Φ82.55 | Φ150 | |
D2 | Φ30 | Φ55 | Φ80 | Φ105 | Φ155 | Φ195 | Φ247.6 | Φ300 | |
D3 | - | - | Φ84 | Φ110 | Φ160 | Φ200 | Φ255 | Φ305 | |
D4 | Φ45 | Φ75 | Φ110 | Φ140 | Φ200 | Φ240 | Φ300 | Φ350 | |
D5 | 38 | 67 | 96 | 125 | 180 | 220 | 275 | 325 | |
D6 | 24 | 45 | 60 | 75 | 120 | 150 | 190.5 | 250 | |
D7 | 2×3-M3 深5 |
2×3-M4 深8.5 |
2×3-M6 座8深24 |
2×3-M8 座11深36 |
2×3-M10 座15深47 |
2×3-M10 座15深61 |
2×6-M10 座15深60 |
2×6-M10 座8深75 |
|
D8 | 2×3-M3 深5 |
2×6-M3 深6 |
2×6-M4 深12 |
2×6-M5 深18 |
2×6-M6 深20 |
2×6-M6 深20 |
2×12-M8 深20 |
2×12-M8 深18 |
|
D9 | M5 | M5 | PF1/8 | PF1/8 | PF1/8 | PF1/8 | PF1/8 | PF1/4 | |
D10 | - | ※Φ2.7 | ※Φ2.7 | ※Φ4.4 | - | - | - | - | |
L1 | 46 | 60 | 80 | 106 | 130 | 160 | 170 | 240 | |
L2 | 30 | 36 | 36 | 50 | 60 | 74 | 76 | 90 | |
L3 | 8 | 12 | 22 | 28 | 35 | 43 | 47 | 75 | |
L4 | - | - | 2.5 | 3 | 3 | 3 | 3.8 | 30 |
- ※ 印は、真空チャック対応エアベアリングです。
AB-300R

AB-400R

AB-600R
