エアベアリング|検査方法

剛性検査

ロータをシリンダーで加圧して、反対側での変位を電気マイクロメータにて測定する。

ラジアル属性
アキシャル属性

回転精度測定

ガラスの球ゲージ(精度0.02μm)を使用してリサージュを測定する。

  • 精度は球ゲージを含んだ精度となる
ラジアル精度
アキシャル精度

端面振れ測定

スラストプレートの中心により外周へ一定距離離れた位置での上下変位を電気マイクロメータで測定する。標準端面振れは1μm以下(オプションにより0.3μm以下可能)

用語解説

回転精度

繰り返し回転精度(TIR:Total Indicator Reading)と非繰り返し精度(NRRO:Non-Repeatable Run-Out)に分類されます。
TIRはエアベアリングが1回転する間の軸の振れを示します。NRROはエアベアリングを複数回回転させた時にある位相位置に於ける振れ量の幅を示します。
回転精度は加工精度や計測精度にダイレクトに効く精度となります。

剛性

エアベアリングに1μmの変位を生じさせる荷重を示します。測定値は初期剛性になります。

負荷容量

軸受け隙間は荷重により狭くなりますが、安心してご使用いただける荷重を示します。

最大負荷容量

瞬間的に掛かる荷重の目安であり、この値を越えないようにご使用してください。

端面振れ

回転するスラストプレート面の振れ幅を示します。加工精度や計測精度に効く精度となります。