EUV露光計測装置PER300-PEX

基本情報

装置名

PER300-PEX

製造元

euv tech社（アメリカ）

主な特長

“EUVレジストアウトガスモニターPER300-PEX”は、EUV露光用フォトレジストのアウトガスを分析する装置です。ウエハー表面に塗布されたフォトレジストにEUV光を照射すると光化学反応により微量のガスが発生します。EUV露光はウエハーとミラー光学系が同じ真空チャンバー内にあるので、この反応ガスがミラーの表面を汚染したり粒子を付着させたりして露光に悪影響を与える可能性があります。本装置は、EUV光をフォトレジストに照射し発生したアウトガスの成分をガス分析装置で分析したり、サンプルプレートにアウトガスを付着させ表面の汚染を観察したりすることができます。

アプリケーション

適用デバイス

ウエハーなどに塗布したEUVレジスト

適用工程

露光装置管理、レジスト開発、品質管理